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| 加工晶棒直徑: | 6-8英寸/12英寸 |
| 加工晶棒長度: | 100~600mm/150-450mm |
| 橢圓度: | ≤0.06mm |
| 圓錐度: | ≤0.06mm |
| 直徑精度: | ±0.06mm |
| 表面粗糙度: | Ra≤1 μm |
| OF寬度: | ±0.1 mm |
| 晶向精度: | <±6' |
| V-NOTCH深度: | 1.0~1.5m |
| V-NOTCH角度: | m89°~93°(可定制) |
| 頂端R角形狀: | R0.9~0.94mm (可定制) |
| 設備外形尺寸: | 4900x2810x2350mm |
| 設備總功率: | 30 kW |
| 設備自重: | 10.5t |
可滿足6~8" / 12“硅棒加工;
加工長度: 600/450mm
硅棒晶向檢測，滾圓，OF面，V-NOTCH槽可實現全自動磨削;
單機可實現全自動化加工;可以實現自動上下料，自動對中，自動檢測，自動加工等功能;
控制系統為歐姆龍系統;
整機配置自動潤滑系統;
在光伏行業成熟的磨床結構基礎上優化設計，專門用于半導體行業硅棒磨削;
整體式一體焊接底座;
夾具及輸送機構位于設備上方，有利于設備防護及后期維護保養;
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