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熱蒸鍍
熱蒸鍍（Thermal Evaporation）是一種用于沉積薄膜的技術，主要應用于電子、光學、裝飾和能源等領域?。其基本原理是在真空條件下，通過加熱蒸發某種物質使其沉積在基板材料表面來獲得薄膜。熱蒸鍍系統通常由真空室、蒸發源或蒸發加熱裝置以及放置基板的裝置組成。將膜材置于真空鍍膜室內，通過蒸發源加熱使其蒸發，蒸發分子在飛向基片表面過程中很少受到其他粒子的碰撞阻礙，直接凝結成膜。?
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