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超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍/濺鍍系統
超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍/濺鍍系統

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型號

定制-超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍/濺鍍系統

品牌

毅睿

產地

中國

樣本

暫無
廈門毅睿科技有限公司

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超高真空多腔體自動傳輸蒸鍍/濺鍍系統


Description :

●UHV 多腔體:Ion Sources, Thermal/E-Beam Evaporator,Sputter .E-Beam... etc.,

基板:多片/單片Max 8 Inch,5x5 cm,10x10cm或其他尺寸

單片,多片承載裝置Cassettes,可程式自動選擇及傳輸

真空度:UHV 10-9 Torr

自動傳輸,自動制程設定...etc.,



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