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SAB9510-半自動 超原子束TRIM機
SAB9510-半自動 超原子束TRIM機

參考價格

面議

型號

SAB9510-半自動 超原子束TRIM機

品牌

青禾晶元

產地

天津

樣本

暫無
青禾晶元半導體科技(集團)有限責任公司

高級會員

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第1年

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SAB9510是一款全自動的超原子束表面TRIM機,可通過Cassette自動上下料,適用于半導體薄膜超精密TRIM批量化生產。

  • 項目

    指標

  • 晶圓尺寸

    4-12寸

  • 上料模式

    Cassette自動上下料

  • 晶圓校準

    Aligner

  • 去除效率

    800 ?*cm2/s @Si

  • 支持工藝氣體

    NF3/Ar/SF6/O2/He或其他混合氣體

  • 束流強度

    >100μA @Ar

  • 束斑尺寸

    半高寬<5mm

  • 離子能量

    60kev


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產品質量

10分

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10分

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