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真空室尺寸 | 1200×1500mm | 1400×1600mm | 1600×1800mm | 1800×1950mm | 2000×1950mm |
制膜種類 | 半透明膜、金、銀、紅、藍、綠、灰、黑、七彩等多種顏色 | ||||
電源類型 | 多弧專用電源、高壓離子轟擊電源、可控硅電源，脈沖偏壓電源 | ||||
真空室結構 | 立式雙開門、立式單開門、臥式單開門、抽氣系統 | ||||
真空系統 | 機械泵＋羅茨泵＋擴散泵/分子泵＋維持泵（或選配：深冷系統） | ||||
極限真空 | 8×10-4 pa（空載、凈室） | ||||
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