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多弧離子鍍技術(shù)的工作原理主要基于冷陰極真空弧光放電理論。圖1為多弧離子鍍工作原理示意圖，點燃真空電弧后，陰極靶材表面上出現(xiàn)一些不連續(xù)、大小和形狀多樣、明亮的斑點,它們在陰極表面迅速地做不規(guī)則的游動,一些斑點熄滅時又有些斑點在其他部位形成，維持電弧的燃燒。陰極斑點的電流密度達(dá)104~105A/cm2,并且以1000m/s的速度發(fā)射金屬蒸氣，其中每發(fā)射10個電子就可發(fā)射1個金屬原子,然后這些原子再被電離成能量很高的正離子（如Ti+）,正離子在真空室內(nèi)運行時與其他離子結(jié)合（如與N-形成TiN），沉積在工件表面形成涂層。