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| 性能型號 | JXS-ZSV-1010 | JXS-ZSV-1215 | JXS-ZSV-1416 | JXS-ZSV-1618 | JXS-ZSV-1820 | |
| 鍍膜室尺寸 | Ф1000×H1000mm | Ф1200×H1500mm | Ф1400×H1600mm | Ф1600×H1800mm | Ф1800×H2000mm | |
| 用于行業 | 包裝材料、鐘表行業、3C行業等 | |||||
| 用于產品 | 化妝品、鏡子、車燈、小商品等 | |||||
| 鍍膜效果 | 紅色、藍色、紫色、綠色、玫瑰色、咖啡色、七彩等 | |||||
| 真空室結構 | 立式前開門結構配置抽氣系統及水冷系統 | |||||
| 真空獲得系統 | 擴散泵 | ≥16000（L/s） | ≥26000（L/s） | ≥26000（L/s） | ≥36000（L/s） | ≥42000（L/s） |
| 羅茨泵 | ≥300（L/s） | ≥1200（L/s） | ≥1200（L/s） | ≥1200（L/s） | ≥1200（L/s） | |
| 機械泵 | ≥140（L/s） | ≥140（L/s） | ≥140（L/s） | ≥210（L/s） | ≥210（L/s） | |
| 維持泵 | ≥30（L/s） | ≥30（L/s） | ≥30（L/s） | ≥30（L/s） | ≥30（L/s） | |
| 備注 | 可根據客戶的要求進行配置 | |||||
| 真空測量系統 | 薄膜規(MKS)、冷陰極(MKS)、皮拉尼(MKS) | |||||
| 電源類型 | 直流電源、中頻電源、脈沖電源 | |||||
| 極限真空指標 | 空載冷態 1.0一 6.0×10-4Pa | |||||
| 蒸發電源 | ≥1臺 | ≥1臺 | ≥1臺 | ≥1臺 | ≥1臺 | |
| ≥25KW | ≥25KW | ≥30KW | ≥35KW | ≥40KW | ||
| 離子轟擊 | ≥5KW | ≥5KW | ≥5KW | ≥10KW | ≥10KW | |
| 深冷裝置系統 | ≥12P | ≥12P | ≥12P | ≥12P | ≥12P | |
| 工件轉動方式 | 多軸行星式公自轉、變頻調速（可控可調） | |||||
| 冷卻方式 | 水冷卻循環方式，另配工業冷卻水塔或工業冷水機（制冷機)或深冷系統。（客戶提供） | |||||
| 控制方式 | PLC+觸摸屏操作或計算機控制，手動、半自動、自動方式、 | |||||
| 供給指標 | 氣壓0.5-0.8MPa、水溫≤25℃、水壓≥0.2MPa、 | |||||
| 報警及保護 | 對泵和靶等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警，并執行相應保護措施及電氣聯鎖功能。 | |||||
| 整機總功率 | ≤65KW | ≤65KW | ≤65KW | ≤65KW | ≤65KW | |
| 輸出頻率 | 電壓380V±5% ，頻率50Hz（可根據客戶國家用電標準配置） | |||||
| 設備占地面積 | ≤55m2 | ≤55m2 | ≤55m2 | ≤55m2 | ≤55m2 | |
| 備注 | 可根據用戶要求設計制造非標設備，可加裝磁控濺射靶、中頻孿生對靶等。 | |||||
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