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性能型號 | JXS-DSV-1416 | JXS-DSV-1618 | JXS-DSV-1822 | JXS-DSV-2030 | JXS-DSV-2236 | |
鍍膜室尺寸 | Ф1400×H1600mm | Ф1600×H1800mm | Ф1800×H2200mm | Ф2000×H3000mm | Ф2200×H3600mm | |
用于行業 | 五金行業、裝飾裝潢行業、家用家電行業等 | |||||
用于產品 | 小五金行業等 | |||||
鍍膜效果 | 鈦金、玫瑰金、香檳金、日本金、炫銀、七彩、寶石蘭、玫瑰紅、黑色等 | |||||
真空室結構 | 立式前開門結構配置抽氣系統及水冷系統 | |||||
真空獲得系統 | 擴散泵 | ≥16000(L/s) | ≥26000(L/s) | ≥26000(L/s) | ≥36000(L/s) | ≥42000(L/s) |
羅茨泵 | ≥300(L/s) | ≥1200(L/s) | ≥1200(L/s) | ≥1200(L/s) | ≥1200(L/s) | |
機械泵 | ≥140(L/s) | ≥140(L/s) | ≥140(L/s) | ≥210(L/s) | ≥210(L/s) | |
維持泵 | ≥30(L/s) | ≥30(L/s) | ≥30(L/s) | ≥30(L/s) | ≥30(L/s) | |
備注 | 可根據客戶的要求進行配置 | |||||
真空測量系統 | 薄膜規(MKS)、冷陰極(MKS)、皮拉尼(MKS) | |||||
電源類型 | 直流電源、中頻電源、脈沖電源 | |||||
極限真空指標 | 空載冷態 1.0一 6.0×10-4Pa | |||||
電弧源 | ≥12臺 | ≥14臺 | ≥16臺 | ≥20臺 | ≥24臺 | |
≥200A | ≥200A | ≥200A | ≥200A | ≥200A | ||
偏壓電源 | ≥30KW | ≥30KW | ≥40KW | ≥40KW | ≥40KW | |
磁控電源 | ≥0 | ≥0 | ≥0 | ≥0 | ≥0 | |
工件轉動方式 | 多軸行星式公自轉、變頻調速(可控可調) | |||||
工件烘烤溫度 | 常溫-300℃至450℃-600℃可控可調(PID溫控) | |||||
工藝氣體 | 3路或4路工藝氣體流量控制及顯示系統選配自動加氣系統 | |||||
氬氣、氮氣、氧氣、乙炔等 | ||||||
冷卻方式 | 水冷卻循環方式,另配工業冷卻水塔或工業冷水機(制冷機)或深冷系統。(客戶提供) | |||||
控制方式 | PLC+觸摸屏操作或計算機控制,手動、半自動、自動方式、 | |||||
供給指標 | 氣壓0.5-0.8MPa、水溫≤25℃、水壓≥0.2MPa、 |
多弧離子鍍技術的工作原理主要基于冷陰極真空弧光放電理論。圖1為多弧離子鍍工作原理示意圖,點燃真空電弧后,陰極靶材表面上出現一些不連續、大小和形狀多樣、明亮的斑點,它們在陰極表面迅速地做不規則的游動,一些斑點熄滅時又有些斑點在其他部位形成,維持電弧的燃燒。陰極斑點的電流密度達104~105A/cm2,并且以1000m/s的速度發射金屬蒸氣,其中每發射10個電子就可發射1個金屬原子,然后這些原子再被電離成能量很高的正離子(如Ti+),正離子在真空室內運行時與其他離子結合(如與N-形成TiN),沉積在工件表面形成涂層。
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