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PRISMO D-BLUE?MOCVD設備品牌
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中微具有自主知識產權的MOCVD設備可配置多達4個反應腔，可以同時加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片，工藝能力還能延展到生長6英寸和8英寸外延晶片。每個反應腔都可以獨立控制，這一設計可以實現優異的生產靈活性。PRISMO D-BLUE?是首臺被主流LED生產線采用并進行大批量LED和功率器件外延片生產的國產MOCVD設備。
首臺被主流LED生產線采用并進行大批量LED外延片生產的國產MOCVD設備
可獨立控制的反應腔運行模式 自主的實時監控系統 精準的參數控制 全自動化處理 符合半導體標準的軟件控制系統 競爭優勢產品特點
優異的工藝重復性，簡化工藝調整需求，提高產品良率 19英寸大尺寸托盤極大地提高了設備單位產能，降低了生產成本 集成頂蓋升降機構，簡化設備維護，提高設備利用率 符合SEMI S2安全標準，提升設備的安全性能
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