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產品摘要

該系列設備為鈣鈦礦太陽能電池、OLED、鋰電池、金屬電極薄膜等產業研發專用設備，廣泛應用于高校、科研院所的不同材料薄膜制備研究。也可用于生產線前期工藝試驗等。設備可與手套箱對接方便在手套箱中操作，前滑動開門結構，設備可融入手套箱整體設計、設備機架在手套箱下方不占用額外空間。

產品介紹

設備特點：

★前后開門保證密封，前滑動開門操作輕便，氣動自動鎖緊；開后門裝料/檢修時大氣不會進入手套箱環境，后門關閉時可直接通過把手鎖緊密封

★溫控有機蒸發源采用控溫式束源爐結構擋板一體化設計保證有機材料不被污染，不僅角度可調，均勻性好還可通過進口膜厚儀聯動控制實現速率精確控制、摻雜等

★設備兼容有機/無機蒸發,多元共蒸復合膜/分蒸獲得多層膜

★樣品臺可升降調整源-基片距離，有效節約貴重材料，降低實驗成本

★系統采用PLC+觸摸屏操作，整體美觀操作簡單，自動化程度高

設備參數：

★腔體尺寸（L×W×Hmm)：400×400×450/450×400×550

設備尺寸（L×W×Hmm)：950×780×1900/950×830×1900

★真空極限：優于（2E﹣05）Pa

抽速保壓：（5E﹣04）≤20min 保壓12小時≤5pa

★膜厚均勻性優異（±3％~±5%），重復性優異（±3％~±5%）

★基片臺：150mm×150mm/200mm×200mm

★蒸發源：可搭配4～8組蒸發源（兼容金屬與有機），可共蒸或切換蒸發