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PEALD-D 等離子增強型原子層沉積系統(tǒng)品牌
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PEALD系列原子層沉積系統(tǒng)是專門為先進半導(dǎo)體工藝開發(fā)的薄膜沉積系統(tǒng)，已在國內(nèi)高校和科研院所裝機超百臺。
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