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ALD-HS 高速原子層沉積系統品牌
嘉興科民產地
浙江樣本
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ALD-HS系列原子層沉積系統是專為在線連續生產開發的高速時間型原子層沉積系統，適用于從200mm到2400mm的各種規格玻璃基板和硅片,通過在線傳輸系統上下料，大尺寸基板節拍可達30s。在高生產節拍的基礎上，保留時間型原子層沉積系統的所有優點（高薄膜質量、高致密性）
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