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ALD-L 失效分析原子層沉積系統品牌
嘉興科民產地
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L系列是科民電子專門為失效分析開發的薄膜沉積系統。系統具有獨特設計的流場和溫場，能夠在低于前驅體源加熱溫度的條件下完成ALD工藝。
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