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加熱溫度:室溫~300℃; 真空腔室尺寸:Φ500×H650mm; 膜厚不均勻性:≤±5.0%; 真空腔室結構:立式圓柱形側開門結構,后置抽氣系統; 蒸發鍍膜機工作原理是將鎢板制成船形,安裝在兩個電極之間,在鎢舟中心加藥,然后慢慢給電極通電,電流通過鎢舟和鎢電加熱。這些低壓和高電流使鎢舟產生熱量,然后傳熱到涂層材料上。該方法操作簡單,結構簡單,成本低,適用于當鎢槽中的熱量高于涂層熔點時,材料升華或蒸發。因此,它被許多設備使用,但由于其密封性能差,以及許多材料不能蒸發,因此它有一些局限性。當鎢合金蒸發涂層材料時,材料的熔點必須小于其熔點,否則不能進行。 產品概述: 1.適用:高校、科研院所和企業開展薄膜新材料科研和小批量制備。 2.產品特點/用途: 綜合設計,占地面積小,性價比高,性能穩定,使用維護成本低; 適用于制備金屬單膜、半導體膜、有機膜、生產線早期工藝試驗等。 適用于光學膜、導電膜、半導體膜、鐵電膜等的制備。
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