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一、功能描述: 特點/用途 該系統為高真空新型陰極弧源 +磁控濺射+離子源及直流脈沖偏壓電源輔助聯合鍍膜系統,該系統廣泛用于精密刀具和模具或軸承等外表面內表面上沉積高性能耐磨擦、耐腐蝕陶瓷、金屬功能導電薄膜等,如TiAlN、TiN、Cu、Al、ITO等;
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